(1) ¹Für das Verfahren werden nachstehende Gebühren erhoben: a) bei Antrag auf Eintragung des Arztes in das Arztregister 100 Euro b) bei Antrag des Arztes oder des medizinischen Versorgungszentrums auf Zulassung 100 Euro c) bei sonstigen Anträgen, mit denen der Arzt, das medizinische Versorgungszentrum oder die sonstige ärztlich geleitete Einrichtung die Beschlußfassung des Zulassungsausschusses anstrebt 120 Euro d) bei Einlegung eines Widerspruchs, durch den der Arzt, das medizinische Versorgungszentrum oder die sonstige ärztlich geleitete Einrichtung die Änderung eines Verwaltungsaktes anstrebt 200 Euro. ²Die Gebühren sind mit der Stellung des Antrags oder Einlegung des Widerspruchs fällig. ³Wird einem Widerspruch ganz oder teilweise stattgegeben, so wird die nach Buchstabe d entrichtete Gebühr zurückgezahlt. (2) Außer der Gebühr nach Absatz 1 werden als Verwaltungsgebühren erhoben: a) nach unanfechtbar gewordener Zulassung 400 Euro b) nach erfolgter Eintragung einer auf § 31 Abs. 1 bis 3 oder § 31 a Abs. 1 beruhenden Ermächtigung in das Verzeichnis nach § 31 Abs. 10 400 Euro c) nach erfolgter Genehmigung der Anstellung eines Arztes bei einem Vertragsarzt in einem medizinischen Versorgungszentrum nach § 95 Abs. 2 des Fünften Buches Sozialgesetzbuch oder einer Einrichtung nach § 311 Abs. 2 des Fünften Buches Sozialgesetzbuch 400 Euro d) nach erfolgter Eintragung einer auf § 32 b Abs. 2 beruhenden Genehmigung in das Verzeichnis nach § 32 b Abs. 4 400 Euro. (3) Es sind zu zahlen a) die Gebühren nach Absatz 1 Buchstabe a an die Kassenärztliche Vereinigung, b) die Gebühren nach Absatz 1 Buchstaben b und c und Absatz 2 Buchstaben a und b an die Geschäftsstelle des Zulassungsausschusses, c) die Gebühr nach Absatz 1 Buchstabe d an die Geschäftsstelle des Berufungsausschusses.